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> 質(zhì)量流量控制系統(tǒng)在使用上主要有四大優(yōu)點(diǎn)!
質(zhì)量流量控制系統(tǒng)在使用上主要有四大優(yōu)點(diǎn)!
更新時(shí)間:2020-05-12 點(diǎn)擊次數(shù):6414
質(zhì)量流量控制系統(tǒng)一款多路質(zhì)量流量計(jì)控制系統(tǒng),其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里,移動(dòng)柜Z大可以承重1000Lbs,所以在與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí),可將設(shè)備置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀態(tài)顯示都集中在一個(gè)7“的觸摸屏上,同時(shí)可以實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛的用于材料界中CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。
該系統(tǒng)采用帶背光寬溫點(diǎn)陣型液晶顯示器,所有顯示都是中文,功能多而實(shí)用,特別方便使用者操作,減少不必要的麻煩和錯(cuò)誤。該系統(tǒng)無(wú)需預(yù)熱、瞬間啟動(dòng)的特點(diǎn)使得系統(tǒng)在短短一秒鐘內(nèi)就能開(kāi)始控制真空鍍膜過(guò)程系統(tǒng)的流量,實(shí)時(shí)測(cè)量顯示質(zhì)量流量、體積流量、 壓力和溫度參數(shù), 并將運(yùn)用溫度與壓力對(duì)流量參數(shù)進(jìn)行充分補(bǔ)充。氣體模塊程序直接通過(guò)質(zhì)量流量控制器自帶的屏幕顯示,并可直接通過(guò)屏蒂按鈕操作切換氣體種類。
該系統(tǒng)的主要優(yōu)點(diǎn)有:
1、地定量控制流量:
該儀器可以有效地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
2、適用范圍寬:
有很寬的工作壓力范圍,我們的系統(tǒng)可以從真空直到10MPa;可以適用于多種氣體介質(zhì);有很寬的流量范圍,我們的系統(tǒng)小流量范圍可達(dá)0~5sccm,大流量范圍可達(dá)0~200slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%,流量控制范圍是滿量程的2~100%(量程比為--50:1),因此
質(zhì)量流量控制系統(tǒng)
在很多領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
3、流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn):
對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言,很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì),壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差;對(duì)于質(zhì)量流量控制器則一般可以忽略不計(jì)。
4、測(cè)量控制的自動(dòng)化:
該系統(tǒng)可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制系統(tǒng)而言,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,該系統(tǒng)能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,進(jìn)行自動(dòng)控制。
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